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仪器名称 环境可控原子力显微镜
英文名称 Environment Control Scanning Probe Microscope
规格/型号 加热冷却台/*Nanonavi E-Sweep
生产厂商
国别 日本
所属单位 分析测试中心>>214 放置地点 214(214)
负责人 李慧琴 联系电话:34206175 邮箱:hqli@sjtu.edu.cn
收费标准 计时标准:至少按预约时间
基础费率:
仪器培训:
自主操作【校内:50元 校外:不提供此服务】/小时
仪器培训【校内:4000元 校外:8000元】/人
耗材:
普通探针【校内:100元 校外:100元】/次
导电探针【校内:200元 校外:200元】/次
基本形貌测试:
基本形貌测试【校内:80元 校外:300元】/小时
性能指标 ? 扫描范围 180 um × 180um × 5 um ? 可测样品大小 直径30mm、厚度10mm ? 纵向分辨率 0.02nm ? 横向分辨率 小于1nm
主要应用 ? 固体材料表面微观形貌、大小、厚度和粗糙度的表征; ? 颗粒大小和形貌表征; ? 研究不同电阻率材料的分布; ? 固体材料微观摩擦性能、磁性能和相图表征 ? 按照自设图形进行纳米刻蚀 ? STM表征导体半导体微观形貌结构和I-V曲线
样品要求 ? 样品大小最大3×3cm,厚度最厚1cm;若在变温下测试,样品大小1×1cm,厚度小于2mm ? 样品上下表面整洁,没有油渍灰尘等污染物 ? 仪器最大扫描范围180×180×5um ? 若是纳米颗粒样品,先用一定的分散剂超声分散后,取一滴在云母等很平整的基底上,干燥后测试。若没有云母片,请在测试前到本实验室来取。 ? 如果样品表面有无机盐,先用水等清除盐分后来测试,因为盐分结晶影响形貌的扫描。 ? 如果是要测试薄膜厚度,预先把薄膜和基底作出一个边界清楚的台阶。 检测项目: 1、 基本形貌 2、 力曲线,粘附力 3、 相图,磁畴,STM,纳米刻蚀,纳米操纵,摩擦性能 4、 导电性能
仪器说明 环境可控扫描探针显微镜能够在变温真空条件下实现样品表面纳米结构的原位测量,为研究不同温度气氛下的结构变化提供了重要的条件. ? 连续变温设计: 可从-120℃连续变温300℃,无需更换加热台,实现原位大范围变温测量; ? 漂移消除机构: 能极大消除扫描的漂移,漂移速度0.015nm/sec; ? 真空系统: 可在短的时间内实现高真空达~10-7Torr ? Q值控制功能 大大增加了相图,磁畴等测试的灵敏度. 该仪器已对交大化工学院、环境学院、材料学院、机动学院等10多个院系50多个课题组及多家校外企事业单位提供了测试服务,发表SCI论文几十篇。 主要特点: ? 可变温 ? 真空环境 ? Q值控制 ? 连续加载摩擦性能测试 ? 接触模式下电流分布测试
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