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激光直写技术因其较大的灵活性和便捷性,在材料成型、微纳加工、增材制造等领域具有重要的应用价值。但是这种光学加工手段由于衍射极限的限制,其加工精度很难与电子束曝光相媲美,且适用的材料大都限于光刻胶、聚合 ...
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