孙立涛教授团队：可视化原子制造方向重要成果

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发布时间: 2022-6-16 09:30

近日，东南大学电子科学与工程学院孙立涛教授团队基于自主搭建的原位电子显微学系统，实时观察了纳米气泡可加速(~20倍)湿法刻蚀的全过程，首次从原子尺度揭示了刻蚀过程中完整的固-液-气三相反应机制，为发展高效、 ...

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