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硅和氧是地球表面含量最高的两种元素。半导体硅的性质非常优异且均衡,一直是半导体和集成电路产业界的绝对主流材料,其中一个关键原因是硅的自身氧化物二氧化硅同时兼具高度致密、均匀、绝缘的特性,且二者界面质量 ...
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